Masovo sa začala používať od 70. rokov, kedy ju japonské firmy zmenšili do súčasnej podoby. Tá prvá, ktorú na základe patentu amerického konštruktéra Percyho Spencera z 8. októbra 1945 predstavila v roku 1947 firma Raytheon, sa totiž od súčasných prístrojov značne líšila: vysoká bola 1,8 metra a vážila 340 kilogramov.
Spencer sa počas druhej svetovej vojny zaoberal výrobou a zdokonaľovaním magnetrónov, čo sú elektrónky, ktoré slúžia ako generátor mikrovlnného žiarenia a ktoré sa používali do radarov.
Jedného dňa zistil, že sa mu počas práce rozpustila čokoláda vo vrecku a prišiel na to, že za to môžu mikrovlny, ktoré čokoládu rozohrali. Potom s úspechom vykonal ďalšie experimenty s ohrevom potravín, a tak sa zrodila mikrovlnná rúra.
Prvé „mikrovlnky“ firmy Raytheon dostali názov Radarange. Používali sa len v reštauráciách, v jedálenských vozňoch a na zaoceánskych parníkoch, a to nielen kvôli rozmerom, ale aj kvôli vysokej cene. Prvý model určený pre širokú verejnosť sa objavil na trhu v roku 1955, ale stále to nebolo ono.
Až koncom 60. rokov sa na trhu objavili mikrovlnné rúry, ktoré už viac vyhovovali svojimi rozmermi aj cenou, ich rozmery sa výrobcom podarilo zmenšiť na veľkosť práčky. Do dnešných rozmerov sa dostali až v 70. rokoch vďaka japonským výrobcom.